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钛泵

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钛泵(图1)

 升华泵的主要吸气材料是钛,所以钛升华泵从六十年代后半期已被普遍应用。在小型系统中,钛升华泵往往作为增加溅射离子泵活性气体抽速和提高系统极限真空度的辅助泵。在大型真空系统(要求抽速10万升/秒以上)中,则作为主泵  升华泵是一种用间断或连续方式升华蒸发吸气材料以达到抽气目的的捕集真空泵。


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