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专注钛锻件、钛及钛合金法兰金属加工、销售、批发
主要加工钛及钛环、钛法兰、钛锻件、钛复合板、钛板、钛棒、钛丝、钛箔材
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钛泵的电源是高内阻电源,其空载输出电压在3~7KV间,但负载电流大时,输出电压降至400V左右。一般溅射离子泵使用5KV倍压整流电源。可以用流过钛泵阴阳极的放电电流反映所抽空间的真空度。溅射离子泵在额定电压与磁场强度下的放电电流Iion(mA)与压强P(Torr)有一定的曲线关系。所以通过离子泵电源可反映出压强的大小。
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